
Sumarið 2005 vann ég sem sumarstúdent (e.
Research Assistant) á
Raunvísindastofnun Háskólans. Leiðbeinandi minn var
Dr. Snorri Ingvarsson.
Verkefnið mitt fólst í að hanna og smíða tæki sem nota átti til að æta þunnar lífrænar húðir af hálfleiðurum og málmum. Tækið var hugsað til að æta photoresist sem er mikið notað í nútiíma rafrásaframleiðslu.
Tækið þurfti að vera mjög skilvirkt, þægilegt í notkun og krafa var gerð um að allt ferlið tæki mjög skamman tíma.
Ætingartæki nú til dags eru oft mjög stefnuháð (æta bara í eina stefnu) þar sem oft vilja menn æta á mjög afmörkuðum fleti, en fyrir þetta verkefni þá var það gerð sú krafa að ætingin átti ekki að vera stefnuháð því tækið átti að nota til að búa til
undercut og slíkt er ekki hægt með stefnuháðri ætingu. Þegar menn vilja mjög stefnuháða ætingu þá er oftast notað
RIE eða önnur álíka tæki. Fá tæki "bjóða" upp á stefnulausa ætingu því slík æting er lítið notuð í nútíma rafrásaframleiðslu.
Við lausn á verkefninu var fljótt ákveðið að nota þurrætingu en ekki votaætingu þar sem votæing er ekki góð aðferð þegar búa á til
undercut. Til að fjarlægja lífrænar húðir þá er best að nota súrefnisrafgas, en einnig er hægt að nota önnur gös - við notuðum Argon í upphafi til að kveikja á rafgasinu því það er lang auðveldast að kveikja í slíku rafgasi.
Til að geta kveikt á rafgasi þá þarf örbylgjugjafa, sýnaklefa og lofttæmisdælu sem sér um að viðhalda undirþrýstingi í sýnaklefanum.
Ákveðið var að nota örbylgjuofn úr næstu raftækjaverslun sem örbylgjugjafa; þeir hafa þann kost að vera öruggir og eru með "klefa" sem hleypir ekki örbylgjunum út úr tækinu, sem er mikið öryggisatriði þar sem örbylgjur eru taldar getað skaðað heilsu lífvera.
Örbylgjuofninn var þó síður en svo loftheldur svo því þurfti að sérhanna loftheldan sýnaklefa sem er tengdur við loftæmisdælu
Til að lágmarka kostnað var ákveðið að hanna einfalda álplötu sem hefur "lagnakerfi" í plötunni því það er ópraktískt að láta loftflæði fara í gegnum glerið með slöngum og öðrum búnaði. Á álplötuna er lagður gúmmídúkur úr sílikon, og ofan á dúkinn er sett glært glerílát svo hægt sé að fylgjast með rafgasinu. Glerílátið var einfalt glært
eldfast mót sem keypt var í næsta stórmarkaði.
Þegar farið var að prófa kerfið þá kom í ljós að örbylgjuofnar sem "almenningur" hefur tök á að kaupa er þannig uppsettur að geislagjafinn er afskaplega slappur, og þar með mjög ódýr.
Framleiðendur örbylgjuofnanna þurfa þó að láta matvæli hitna á sem flestum stöðum, svo því setja þeir snúningsdisk í örbylgjuofninana sem sjá um að "færa matinn til" svo fleiri staðir hitni.
Fyrir okkar kerfi er slíkur örbylgjugjafi mjög slæmur þar sem við viljum að allir staðir á sýnunum verði fyrir jafn mikilli ætingu, og of mikill kostnaður færi í að hanna sýnaklefa sem hægt væri að snúa á meðan ætingu stendur, því það þarf sérhannaðar málm slöngur sem ráða við slíkan snúning.
Eftir mörg símtöl kom í ljós að örbylgjuofn með jafndreifðri geislun kostaði rúmlega tífalt meira en sá örbylgjuofn sem við fjárfestum í, og því var ákveðið að setja upp spegla í örbylgjuofninn til að nálgast jafndreifða geislun. Notuð var
trial-and-error aðferðin til að finna góða staði, og eftir ítarlega prófun fengust nokkrar stillingar sem gáfu betri dreifingu á örbylgjunum.
Til að geta stjórnað ætingarhraðanum var hannað einfalt loftstýringarkerfi (situr ofan á örbylgjuofninum á myndinni).
Skrifuð var grein í tímaritið
Raust þar sem fjallað er almennt um sýnaframleiðslu, ætingarkerfi og loks um rafgasörbylgjuofninn. Hægt er að nálgast greinina
hér. Einnig sýndum við plakat á
Raunvísindaþingi í Reykjavík 2006 og má nálgast plakatið
hér. ATH: Stærð á skjalinu er 1.9 Mb. Þar sem allt niðurhal af helgiskuli.com netþjóninum er frekar hægt, þá er hægt að ná í greinina á hi.is
heimasvæðinu mínu.